開放型激光尺
適用多樣測試距離需求,同時實現高精度的線性位移測量,
無需其他任何機械傳動件。典型應用包括:
/半導體工業測量和生產設備
/直線電機模組
/高精度三位坐標儀
/精密儀器定位
機械結構
開放型激光尺包含兩個部分:光電模塊和聚焦式反射鏡。
光電模塊配合準直調節板安裝在固定基座,聚焦式反射鏡通過聯接件與導軌滑座連接。
為達到高精度的測量需求,必須確保有效測量行程內,出光軸與運動軸平行,減少誤差。
熱特性
外界環境變化對激光尺的影響不可避免,為了在不同環境下都能保證測量精度,
激光尺配備環境補償單元,該補償單元可以將氣壓、溫度、濕度變化帶來
的影響降低到允許的范圍以內。